产品介绍
钛靶材的优异特性
良好的力学性能
钛靶材的核心原料钛具有高的强度和低的密度,因此钛靶材制备的钛薄膜在许多结构性应用中具有优越的力学性能,适配结构性镀膜需求。
耐腐蚀性
钛靶材的核心原料钛在许多化学环境中具有很好的耐腐蚀性。钛靶材制备的钛薄膜在海水、酸碱介质等环境中可提供有效的防护,提升终端产品使用寿命,凸显钛靶材的耐腐优势。
高温稳定性
钛靶材的核心原料钛在高温下具有良好的稳定性,因此钛靶材制备的钛薄膜在航空航天、核能等高温领域具有广泛的应用,适配极端高温场景。
装饰性
钛靶材的核心原料钛可以形成各种颜色的氧化膜,具有良好的装饰性。钛靶材制备的钛薄膜应用于珠宝、眼镜、钟表等产品的表面处理,拓展钛靶材的应用场景。
高电阻率
钛靶材的纯钛电阻率显著高于常用金属导体(如铜、铝),约 42.0 × 10⁻⁸ Ω·m (420 nΩ·m) (室温下)。具体值受钛靶材纯度影响极大,高纯度(如4N5)钛靶材有助于降低电阻率。杂质(尤其是间隙元素O、N、C)会显著增加钛靶材的电阻率,凸显钛靶材纯度的核心价值。
钛靶材的广泛应用
半导体制造
钛靶材是铜互连的“守护神”:钛靶材作为阻挡层 ,阻止铜原子侵蚀硅芯片;钛靶材作为粘附层,确保铜线与底层紧密结合。芯片制程越先进(7nm, 5nm, 3nm…),对钛靶材纯度与薄膜质量要求越苛刻,钛靶材直接关乎芯片良率与性能,是半导体高端制程不可或缺的关键材料。
显示面板
①钛靶材在TFT阵列中充当电极组分(如Mo-Ti)或关键欧姆接触/粘附层;②钛靶材为ITO透明电极提供强力附着“地基”,助力显示面板性能提升,适配高端显示领域需求。光伏行业
钛靶材是高效电池背接触层与粘附层的优选,钛靶材可提升光伏电池的稳定性与光电转换效率。- 钛靶材可沉积高纯钛膜或二氧化钛(TiO₂)膜,用于镜头增透膜、滤光片、光催化自洁玻璃等,钛靶材的纯度决定光学性能极限
技术特性

纯度
99.5%-99.95%

密度
4.506 g/cm³ (20°C)
应用场景
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