氮化钛靶材(TiN)

TiN target

众诚达

陶瓷靶材

氮化钛靶材(TiN)

高密度
优良的热传导性
良好的电学性能

产品介绍

氮化钛靶材(TiN)是当前全球应用广泛的金属陶瓷功能靶材之一,兼具金属的导电导热性与陶瓷的高硬度、抗腐蚀特性,通过磁控溅射等工艺氮化钛靶材可制备性能均衡的功能薄膜。氮化钛靶材的核心优势是能满足机械制造的耐磨防护需求,也能适配电子半导体的高精度功能要求,还可实现装饰与防护一体化功能。氮化钛靶材广泛应用于机械、电子、装饰、航空航天、新能源等多个高端制造领域,是跨行业通用的核心功能材料。

氮化钛(TiN)的优异特性

  • 致密性突出

    氮化钛靶材相对密度≥98%,晶粒尺寸 3-10 μm 均匀分布,减少溅射时弧光放电,提升薄膜成分均匀性,彰显氮化钛靶材的核心品质优势。


  • 高沉积速率、膜层无发蒙

    氮化钛靶材实现高沉积速率优化,效率最大化落地,膜层无发蒙优化,外观与致密性双保障,适配批量工业化生产需求。

  • 超硬耐磨

    氮化钛靶材硬度层级丰富,靶材硬度≥1800 HV,耐磨性是普通金属薄膜的 4-8 倍,同时兼具一定韧性,避免薄膜脆裂,充分发挥氮化钛靶材的防护价值。

  • 低电阻率

    氮化钛靶材室温电阻率≤150 μΩ・cm,远超传统陶瓷靶材,适配半导体栅极、散热涂层等导电 / 导热场景,体现氮化钛靶材的电学优势。

  • 色泽可调控

    氮化钛靶材天然呈现金黄色,通过工艺优化可实现黑色、灰色等多色泽,满足高端装饰需求,拓展了氮化钛靶材的应用场景。

氮化钛(TiN)的广泛应用

  • 硬质涂层

    氮化钛靶材用于硬质涂层,色泽均匀(经典金黄色)、无雾感无颗粒,长期使用不褪色划伤;符合 RoHS 环保标准,量产效率提升 30% 以上,适配机械制造等领域的耐磨防护需求。

  • 半导体制造

    氮化钛靶材适配半导体制造领域,保障电子器件信号传输稳定、延长使用寿命;适配 7nm 以下先进制程,半导体良率≥98%,消费电子量产效率提升 25%,贴合电子半导体的高精度要求。

  • 光学领域

    氮化钛靶材应用于光学领域,保障光学器件成像清晰、透光高效;颗粒缺陷极少,镜头良率显著提升,单日可处理数千片光学元件,凸显氮化钛靶材的光学适配性。


技术特性

  • 纯度

    纯度

    99.9%

  • 致密度

    致密度

    ≥98%

应用场景

  • 硬质涂层

    硬质涂层

  • 半导体制造

    半导体制造

  • 光学领域

    光学领域

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