氧化锌靶材作为高效薄膜制造的关键材料，广泛应用于物理气相沉积（PVD）过程中的薄膜制造，氧化锌能够提供高效且均匀的材料源，确保在基底上形成的薄膜具有优异的质量和一致性。氧化锌（ZnO）是一种具有突出电学和光学性能的白色粉末。选择其作为靶材的核心原因，主要是基于它的独特化学稳定性和优良的物理特性，这些特性使得它在制造过程中能够承受高能量的沉积环境，同时保持其化学纯度和结构完整性。

氧化锌靶材(ZnO)的优异特性

• 高纯度保证薄膜性能

  纯度可达 99.99% 以上，杂质含量低，确保溅射薄膜具有优异的电学与光学特性。

• 优异的光学透过率

  在可见光波段透光率可超过 80%，适合制备氧化锌靶材高透明度的光学膜与透明导电膜。

• 良好的导电性能（可掺杂）

  通过 Al、Ga、B 等元素掺杂，可大幅降低电阻率，是氧化锌靶材替代 ITO 透明导电膜的环保替代材料。

• 优异的化学稳定性

  耐酸碱腐蚀，在高温、高湿等环境中依然保持稳定性能。

  
  

氧化锌靶材(ZnO)的广泛应用

1. 显示面板

   可用于制备高透明度和导电性能膜层（替代ITO）。凭借其优异的光学透过率、低电阻率和化学稳定性，能够提高显示屏的亮度均匀性、响应速度及使用寿命，是氧化锌靶材显示面板领域的核心材料。

2. 光学器件制造

   用于制造各种光电器件，如LED和激光二极管。在这些应用中，氧化锌薄膜的光学性质和电导率至关重要。因此，沉积条件（如温度、气压、沉积速率）需要精确控制。

3. 光伏行业

   在制造太阳能电池中也发挥着关键作用，高透明度和导电性能膜层（替代ITO），尤其是在薄膜太阳能电池的生产中。在光伏应用中，氧化锌层的透明度和导电性对于太阳能电池的效率至关重要。